根據(jù)ISO14644-3.B.6給出的測試方法，高效風口檢漏試驗一般采用氣溶膠光度計法和離散粒子計數(shù)法。本文通過對比試驗對氣溶膠光度計法與粒子計數(shù)法這兩種測試方法的技術與經(jīng)驗的相同點及不同點進行了相關探討，其試驗結論對于提高目前風口檢漏的檢測水平起到了積極的推動作用。
一、高效過濾器效率與檢漏
高效過濾器過濾效率是指的濾器本身的效率,隨執(zhí)行的標準及測試方法不同而異。當前對高效過濾器效率的測試方法有:DOP法,以光度計檢測,不如粒子計數(shù)法靈敏,有關標準可見美國IEST-RP-CC001:粒子計數(shù)法,以粒子計數(shù)器作為檢測儀器,使用單分散或多分散氣溶膠,靈敏度高,多用于超高效過濾器,相關標準可見EST-RP-CC007最易穿透粒徑法(MPS),采用粒子計數(shù)器作為檢測儀器,使用的氣溶膠同前,此法是歐盟EN1822標準所規(guī)定,與粒子計數(shù)法的區(qū)別是以過濾器最易穿透的粒徑作為測試用粒徑;鈉焰法,此法采用火焰光度計,對NaCL燃燒的火焰色度作響應,相關標準見我國“高效空氣過濾器GB13554-92靈敏度低,且NaCL對微電子產(chǎn)品質量有害,國外已不用對制藥企業(yè)來講,高效過濾器檢漏主要是現(xiàn)場檢漏,通過DOP法發(fā)現(xiàn)濾器本身及運輸、安裝過程中可能存在的問題。常使用氣溶膠光度計及多發(fā)散氣溶膠,因其比單分散氣溶膠來得經(jīng)濟方便并能滿足要求。
氣溶膠光度計
二、氣溶膠光度計與粒子計數(shù)器
檢測儀器可使用氣溶膠光度計或粒子計數(shù)器。粒子計數(shù)器檢測的是粒子的數(shù)量分布,常以“粒/L”單位表示,而光度計檢測的是粒子的質量濃度,以"mgL"表示。最多數(shù)量分布的粒子與最大濃度分布的粒子并不處于同一粒徑,因為粒徑與重量成三次方的關系,大粒徑的粒子在濃度分布中占有較大的比重。因此在檢測濾器效率時,使用粒子計數(shù)器和光度計得到的結果會有差別。與粒子計數(shù)器相比,光度計靈敏度及精度稍差,因此不用來檢測H13級以上的高效過濾器及超高效過濾器。對于制藥企業(yè)高效過濾器的現(xiàn)場檢漏而言,因光度計使用方便、檢測結果易于判斷、對泄漏檢測比較感而得到廣泛應用。
粒子計數(shù)器
三、檢漏標準
在檢漏結果的判定上,不同的標準也有所差異。美國IEST-RP-CC034規(guī)定C、D級高效過濾器現(xiàn)場檢漏透過率0.3um,光度計掃描檢漏法)為0.01。歐盟EN1822規(guī)定檢漏測試只要被測過濾器的局部透過率不超過規(guī)定的局部值便為合格,H13級高效過濾器對應的局部透過率為0.25%,但要注意這里的透過率是以0.3um單分散相DOP測試得出的。我國在“潔浄廠房設計規(guī)范GB50073-2001及高效空氣過濾器GB13554-92”中關于已安裝過濾器的泄漏測試,規(guī)定使用大氣塵或其它氣溶膠,采用粒子計數(shù)器測得泄漏濃度,對于高效過濾器,穿透率不應大于過濾器出廠合格穿透率的2倍。對于制藥企業(yè)HEPA的檢漏測試,在實際測試中,若有泄漏,光度計數(shù)值會明顯升高,易于判斷,高效過濾器泄漏率標準定為小于等于0.01%并不影響實際泄漏的檢測。
來源：天氏庫力 發(fā)布日期
2020-07-13 瀏覽：
